Quali sono le tecniche comuni di rilevamento spettrale e le loro applicazioni?
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1. Spettroscopia a infrarossi di trasformata di Fourier (FTIR) :Utilizzato per rilevare la composizione chimica e la struttura molecolare del materiale del chip, analizzando lo spettro di assorbimento della luce a infrarossi, identificare specifici gruppi funzionali e giudicare il tipo e la purezza del materiale
2. Spettroscopia Raman :Una tecnica di test non distruttiva per ottenere informazioni di vibrazione molecolare di un materiale analizzando il cambiamento di energia dopo lo scattering dei fotoni, adatto al controllo di qualità dei materiali a semiconduttore
3. Spettroscopia ultravioletta-visibile (UV-Vis) :Valutazione delle proprietà di assorbimento della luce della superficie del chip, rilevazione di contaminanti, spessore dell'ossido e altre proprietà della superficie
4. Spettroscopia a fluorescenza :Rileva determinati elementi o composti sul chip e identifica le impurità di tracce dalle lunghezze d'onda specifiche della luce emesse dopo l'eccitazione
5. Spettroscopia a infrarossi vicino (NIR) :Misura la concentrazione e la composizione di un materiale e viene spesso utilizzata per rilevare sostanze chimiche con picchi di assorbimento specifici nella regione a infrarossi vicini
